1. 电阻率：这是衡量超纯水纯度的核心指标，25℃下理论纯水的电阻率为 18.24MΩ・cm，实际设备产出的超纯水需稳定达到 18.2MΩ・cm 左右，数值越低说明水中离子杂质含量越高。
2. 总有机碳（TOC）：超纯水要求 TOC 含量＜5ppb（部分高要求场景＜1ppb），TOC 过高会影响实验精度或电子元件生产良率。
3. 颗粒物：需控制在 0.05μm 粒径以下的颗粒物数量＜1 个 /mL，避免造成精密仪器或芯片的堵塞、划伤。
4. 微生物：菌落总数＜1CFU/mL，防止生物医药领域的样品污染或实验数据偏差。